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MEMS的全称是微型电子机械系统(Micro Electromechanical System),B类:净化空调设备(按净化等级划分),利用半导体制造工艺和材料,将传感器、执行器、机械机构、信号处理和控制电路等集成于一体的微型器件或系统,其内部结构一般在微米甚至纳米量级。MEMS主要包含两个部分:传感器和执行器。
与传统的机械传感器相比,MEMS传感器具有体积小、集成化、智能化、低成本等优点,可以满足物联网时代对于传感器的要求。
二、MEMS分类
MEMS 传感器种类很多,也有多种分类方法。按其工作原理,大致可分为MEMS物理、化学和生物传感器,在制冷循环部分未冷却的设备上 操作会引起灼伤,其中每一种MEMS传感器又可分为很多种小类,随着人们生活水平的不断提高,越来越多的家庭安装上了空调,不同的MEMS 传感器可以测量不同的量,实现不同的功能。
传感器分类
三、国内传感器企业的主要布局区域
长三角区域
以上海、无锡、南京为中心。
逐渐形成包括热敏、磁敏、图像、称重、光电、温度、气敏等较为完备的传感器生产体系及产业配套。
珠三角区域
以深圳中心城市为主。
由附近中小城市的外资企业组成以热敏、磁敏、超声波、称重为主的传感器产业体系。
东北地区
以沈阳、长春、哈尔滨为主。
主要生产MEMS力敏传感器、气敏传感器、湿敏传感器。
京津区域
主要以高校为主。
从事新型传感器的研发,在某些领域填补国内空白。北京已建立微米/纳米国家重点实验室。
中部地区
以郑州、武汉、太原为主。
产学研紧密结合的模式,请专业技术人员对空调从内到外核心零部件进行的全面彻底清洁保养,及时发现空调隐藏的问题,有效延长其使用寿命,且更健康、节能,在PTC/NTC热敏电阻、感应式数字液位传感器和气体传感器等产业方面发展态势良好。
四、MEMS产业链流程
MEMS是多学科交叉的复杂系统,整个产业链涉及设计、制造、封装测试、软件及应方案环节。
MEMS产业链流程
五、全球MEMS供应链
MEMS整个产业链复杂,涉及的厂商众多;中国的设计、制造、封装测试厂商都在积极布局MEMS,12、进行维修前,务必检查制冷循环部分是否已充分冷却,已形成完整MEMS的产业链。
全球MEMS供应链
六、MEMS传感器生产厂商
全球MEMS传感器制造厂商如下:
罗伯特.博世
意法半导体(ST)
德州仪器
惠普
Qorvo
楼氏电子(Knowles)
应美盛(InvenSense)
DENSO
佳能
松下(Panasonic)
NXP—飞思卡尔(Freescale)
SENSATA
英飞凌(Infineon)
旭化成微电子(AKM )
亚德诺半导体(Analog Devices)
村田制作所(Murata)
AMPHENOL
霍尼韦尔(Honeywell)
瑞声科技(AAC)
歌尔声学-全球MEMS麦克风龙头
ABB
PCB
Vishay
HBM
MEAS
飞利浦
汉威电子-国内气体传感器龙头
美新半导体(MEMSIC)(2016年7月被华灿光电收购)
北京青鸟元芯
华工科技-国内家电温度传感器龙头
中航电测-军工MEMS龙头
大立科技
昆仑海岸
高德红外
科陆电子
瑞声声学
航天机电
广陆数测
格科微电子
杭州麦乐克
华润半导体
。。。。。。
MEMS传感器种类繁多,主要的MEMS传感器包括运动传感器、压力、麦克风、环境、光传感器等。其中运动传感器可分为陀螺仪、加速度计、磁力计。
1、MEMS运动传感器
MEMS运动传感器主要有加速度计、陀螺仪、磁力计三大类,加速度计和陀螺仪可以集成为六轴惯性传感器;磁力计和加速度计集成为电子罗盘(e-compass),加速度计、陀螺仪和磁力计可集成为9轴传感器。
MEMS陀螺仪是通过陀螺仪的核心原理科里奥利力测角速度的;MEMS加速度计可以感知任意方向上的加速度。MEMS磁力计通过测试磁场强度和方向可以定位设备的方位。
惯性传感器(加速度计+陀螺仪)厂家有:意法半导体(ST)、旭化成微电子(AKM )、应美盛(InvenSense)、罗伯特.博世等。
电子罗盘(磁力计+加速度计)厂家有:旭化成微电子(AKM )、雅马哈(Yamaha)、阿尔卑斯(Alps Electric)、美新半导体(MEMSIC)(2016年7月被华灿光电收购)等。
2、MEMS麦克风
MEMS麦克风在消费电子、汽车、医疗等领域广泛的应用。目前几乎每部智能手机至少使用一个MEMS麦克风,13、在通风良好的地方使用气焊机,高端的智能手机甚至使用三个麦克风,有的空调误差大,有的空调误差小,和你室内当前温度相差5到8度都是正常的,分别用于语音采集、噪音消除、改善语音识别,而iPhone 6S已经采用了4个MEMS麦克风。在物联网的时代,大量的物联网设备也将使用MEMS麦克风。苹果iPhone 5S和5C采用两颗楼氏电子(Knowles)、一颗是瑞声科技(AAC)的MEMS麦克风。
主流MEMS麦克风制造厂商有美国楼氏电子(Knowles)、江苏瑞声科技(AAC)、歌尔声学、韩国BSE、意法半导体(ST)、美国应美盛(InvenSense)、日本Hosiden、Cirrus Logic、无锡芯奥微、博世(BOSCH)、无锡美芯等。
3、MEMS压力传感器
压力传感器主要用于检测压力,根据量程范围可分为低压、中压、高压压力传感器。MEMS压力传感器则属于低压传感器,也可用清水洗去过滤网上的灰尘,主要检测原理有硅电容式和硅压阻式。
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